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            平行密封型門閥XGTP系列

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            平行密封型門閥XGTP系列

            發布日期:2019-07-08 作者:屹誠 點擊:


            SMCZ新推出了一款平行密封型門閥XGTP系列。產品采用平行密封結構,可對應300mm晶圓。適用于半導體裝置的真空工藝腔室與傳輸腔室之間的密封。


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            產品參數

            ???◇ 長壽命:300萬次(常溫時)

            ???◇ 低發塵:發塵量減少到1/5以下(與舊型號相比)

            ???◇ 省氣:耗氣量減少22%

            ???◇ 輕量:14kg(盒式)

            ???◇ 工作窗尺寸:50mm X 336mm

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            平行密封構造

            門上升、下降的直線動作和門開閉的夾緊采用平行密封(L motion)構造,降低了摩擦系數,可大幅減少發塵量并延長使用壽命。

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            應用場合

            半導體加工過程中,針對各工藝腔室之間的隔離。

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